장비제어 솔루션
주요 사업영역을 안내해드립니다.
Machine Control Software Development Framework
제어시스템 개발에 특화된 컴포넌트 기반의 Layered Framework와 개발도구를 제공하는 패키지
Machine Control Software Development Simulator
제어시스템 개발에 꼭 필요한 장비와 장치 시뮬레이터 ( Cloud 환경 제공 )
Equipment & Host interface developing software kit
SEMI 표준인 반도체 장비 통신표준(Semiconductor Equipment Communication Standard)을 간단하고 쉽게 개발할 수 있도록 도와 주는 소프트웨어 개발 키트
반도체 제조 장비의 표준 통신 프로토콜인 SECS/HSMS을 지원하는 통신 드라이버 솔루션
SECS-GEM 프로토콜을 지원하는 일반 제조장비용 통신 드라이버 솔루션
ELA - (Excimer Laser Annealing) System
OLED LTPS공정에서 Excimer Laser를 이용하여 글라스 표면을 가열 후 냉각하는 방식을 통해 후 공정에서 전자의 흐름을 원활하게 만들기 위한 장비
증착 회로 - Laser Cutting 수리 장비
GLASS에 증착된 회로의 불량을 Review하여 Laser를 이용하여 Cutting 하는 장비
증착 회로 - Laser Cutting / 증착 수리 장비
GLASS에 증착된 회로의 불량을 Laser를 이용하여 Cutting 하거나 증착 하는 장비
주요사업실적 |
ㆍ CVD공정 Laser Repair 장비 / Laser Power 및 Gas Para Interlocking / CRP 장비제어 및 고도화 / CRP Scratch 개선 ㆍ TCRP 제어 / CRP UMAC SW / ELA SW 제작 / Twin Viper 대응 / ELA Mura 검사기 / LTPS ELA 제어 / Auto Defect Judge SW ㆍ RPR 자동판정 SW 개발 및 고도화 / 다면체 대응 / 투과조명 처리 / RMS 제어 대응 / RRP UMAC SW / IR 조명 제어 /TRPR SW ㆍ Laser Scriber SW / 강화유리 Scriber SW / Freeform Scriber SW |
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증착 회로 - Pattern Vision 검사기 System
GLASS에 증착된 회로 Pattern을 Vision을 이용하여 검사하는 장비
원장점등검사기 - (계측)
OLED공정에서 증착 후 원장 상태에서 점등을 하여 검사를 수행하는 장비
주요사업실적 |
ㆍ 패턴검사기 운영 SW / PIC PTN SW / POT PTN SW / Photo Inline 검사기 제어 / TPTN 검사기 SW / LTPS PTN 검사기 ㆍ TFT/CF 혼용 PTN 검사기 SW / iPTN SW / uPTN SW / Pannel Inline Macro 운영 SW / PAC iMac SW / Macro 검사기 ㆍ Dual Channel MDS 대응 / GLSS 생산 최종 검사기 / Wafer 검사기 / Ingot Mounter / Goniometer / POLED 이물 검사기 ㆍ Cell 합착 Vision 검사기 / MASK 검사기 / 합착정도 검사기 / 원장 점등 검사기 |
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핸드폰용 전지(각형) 외관 검사기
- 핸드폰용 전지(각형)의 치수(전장 / 전폭 / 탭 길이 / 테이프 돌출 길이 / 탭 간격 / 두께)를 Vision 및 두께 게이지를 이용하여 측정 및 검사하는 장비( 2012년부터 17호기 확산 전개 중 )
자동차용 중대형 전지 외관 자동 검사기
- 자동차용 중대형 전지의 치수(전장 / 전폭 / 탭 길이 / 테이프 돌출 길이 / 탭 간격)를 Vision을 이용하여 측정 및 검사하는 장비(2007년부터 10호기 확산 전개)
원통형 전지 Reform 자동 검사기
- 원통형 전극의 품질을 평가하는 항목 중 중요한 Jell Roll의 원의 크기, 면적, 위치, Tap거리를 검사하는 장비( 2008년부터 3호기 확산 전개)
핸드폰용 전지 Flatness 검사기
- 핸드폰 / 패드용 전지의 평탄도를 Laser Sensor를 이용하여 측정 검사하는 장비(2013년부터 4호기 확산 전개)
전기자동차 배터리 CMA / PACK 검사기
- 전기자동차 배터리 CMA / PACK 상태의 검사하는 간이 검사기로 검사 스케줄을 작성하여 스케줄 관리와 조건 등을 검사하는 장비(2014년부터 4호기 확산 전개)
기타 장비
ㆍ 3D review 제어
ㆍ EVPC 제어
ㆍ Shipping Compiler 제어 s/w
ㆍ GE Healthcare line 표준 loader 장비
ㆍ i사 광학 side filler 제어 및 vision 검사
ㆍ i사 광학 under filler 제어 및 vision 검사